[实用新型]一种二极管晶圆级半自动低频参数测试装置有效
| 申请号： | 202022138255.8 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213517422U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 陈婧瑶;赵娟;张帅;包星晨;刘阳 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所(普通合伙) 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233030 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种二极管晶圆级半自动低频参数测试装置，它包括底座（1），在底座（1）上设有显微镜（3），其特征在于：在显微镜（3）一侧的底座（1）上设有探针夹持装置（5），在探针夹持装置（5）上设有测试探针（6），在底座（1）上还设有BNC测试单元（8），所述的BNC测试单元（8）通过线缆与测试探针（6）形成电信号连接配合。本实用新型结构简单、使用方便，能够避免测量不同低频参数时频繁拆装与测试仪表连接的外部测试电缆，实现半自动测试，提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 二极管 晶圆级 半自动 低频 参数 测试 装置 | ||
【主权项】：
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