[实用新型]一种尾气处理及粒子吸附装置有效
| 申请号： | 202022144346.2 | 申请日： | 2020-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN213528082U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 李湘林;李力;钟权平 | 申请（专利权）人： | 东莞纳锋微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/76 | 分类号： | B01D53/76 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 张明 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜系统技术领域，尤其是指一种尾气处理及粒子吸附装置，包括尾气进气口、反应气体进气口、吸附组件以及出气口；所述吸附组件包括若干的吸附件，相邻的吸附件之间形成与空气隔绝的吸附通道，相邻的吸附通道彼此连通，所述吸附通道与所述尾气进气口、反应气体进气口以及出气口均连通。本实用新型提供的一种尾气处理及粒子吸附装置，不会出现吸附通道被堵塞的情况，可以更加充分地对需要过滤的材料进行吸附工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尾气 处理 粒子 吸附 装置 | ||
【主权项】：
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