[实用新型]一种真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202022166907.9 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN214004769U | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 崔福顺;林城来;南相尽 | 申请（专利权）人： | 东莞法克泰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/30;C23C14/26 |
| 代理公司： | 惠州市超越知识产权代理事务所(普通合伙) 44349 | 代理人： | 陈文福 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体是一种真空镀膜设备，包括真空仓体、底座、扩散泵、旋片泵、罗茨泵等组成。真空仓体置于底座上，通过管道和阀门连接至真空泵；真空仓体内部上方悬挂可放置产品的镀膜盘，镀膜盘上配有手柄以便放取方便；镀膜盘放置于旋转机构上，旋转机构由电机带动旋转；真空室内部装有离子源、电子枪和两套热蒸发源，本实用新型公开的一种真空镀膜设备，设有转盘连续旋转使基材与镀膜装置可以保持对应位置，确保镀膜均匀，设有分体式的放料架，方便快速更换上料，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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