[实用新型]钛基板连续镀金属硫化物的装置有效
| 申请号： | 202022169478.0 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN213266693U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 肖勇川;钟璨宇;赖奇;彭富昌;刘翘楚;崔晏;赵曦光;肖传海;陈金良;廖先杰 | 申请（专利权）人： | 攀枝花学院 |
| 主分类号： | C23C16/30 | 分类号： | C23C16/30;C23C16/54 |
| 代理公司： | 成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124 | 代理人： | 曾勇;罗贵飞 |
| 地址： | 617000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于钛基板连续镀金属硫化物的设备，属于镀膜设备技术领域。包括真空箱体(10)，箱体(10)内设置有托辊组(2)，托辊组(2)的上方左侧和右侧分别设置有喷头A(4)和喷头B(5)，喷头A(4)和喷头B(5)均成直线排布，且喷涂宽度不大于单个托辊的长度，喷头A(4)和喷头B(5)喷射方向的交点位于托辊组(2)的下侧。本装置将镀层金属和硫分别经过高能热源和普通热源加热融化或蒸发，在负压高速气体的推动下经过喷嘴产生纳米喷雾，并且在同一平面相遇，经反应后沉积在基板表面形成镀膜。解决现有的连续性气相沉积金属硫化物的生产设备存在镀膜颗粒粗大，硫污染设备内部腔壁等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 钛基板 连续 镀金 硫化物 装置 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
