[实用新型]一种硅片清洗装置有效
| 申请号： | 202022171852.0 | 申请日： | 2020-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN213529930U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘晓杰 | 申请（专利权）人： | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67;H01L31/18;B01D46/10 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 471023 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片清洗技术领域，公开了一种硅片清洗装置。硅片清洗装置包括槽体和气管组件。待清洗的硅片置于槽体内的清洗液中，槽体的底部设置有出水口，出水口处设置有过滤网。气管组件包括气管和支架，支架固定在槽体底面，气管上开设多个通气孔，气管置于硅片的下方并固定在支架上；气管组件与过滤网沿竖直方向间隔设置，且过滤网位于气管组件在槽体底面上的投影外。本实用新型，降低了清理的难度，避免了碎片在槽体内部残留，保证后续的清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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