[实用新型]承载装置及具有其的芯片转移系统有效
申请号: | 202022175713.5 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN213483724U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 李欣曈;洪温振 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/683;H01L33/48 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 王晓玲 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种承载装置及具有其的芯片转移系统。该承载装置包括:基板,基板中具有待转移的芯片一一对应的多个孔道,孔道间隔排列用于在芯片转移过程中容纳芯片。采用本实用新型的上述承载装置,在芯片转移过程中,通过在承载装置的孔道底部设置未硬化的热塑性材料,并将生长基板上的芯片转移至孔道中,然后将孔道中的热塑性材料硬化,可以将芯片先固定于承载装置的孔道中,然后再采用转移装置固定芯片,并将热塑性材料软化,使芯片转移至转移装置上,从而能够代替现有技术实现芯片转移的弱化结构,在转移过程中芯片不易位移,简单易取,且上述承载装置的制备工艺简单,可以采用成本低廉的材料制备而成,还能够重复使用。 | ||
搜索关键词: | 承载 装置 具有 芯片 转移 系统 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司,未经重庆康佳光电技术研究院有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202022175713.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种科技木改造打磨装置
- 下一篇:具有除尘机构的科技木打磨设备
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造