[实用新型]承载装置及具有其的芯片转移系统有效

专利信息
申请号: 202022175713.5 申请日: 2020-09-28
公开(公告)号: CN213483724U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 李欣曈;洪温振 申请(专利权)人: 重庆康佳光电技术研究院有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/683;H01L33/48
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 王晓玲
地址: 402760 重庆市璧*** 国省代码: 重庆;50
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摘要: 实用新型涉及一种承载装置及具有其的芯片转移系统。该承载装置包括:基板,基板中具有待转移的芯片一一对应的多个孔道,孔道间隔排列用于在芯片转移过程中容纳芯片。采用本实用新型的上述承载装置,在芯片转移过程中,通过在承载装置的孔道底部设置未硬化的热塑性材料,并将生长基板上的芯片转移至孔道中,然后将孔道中的热塑性材料硬化,可以将芯片先固定于承载装置的孔道中,然后再采用转移装置固定芯片,并将热塑性材料软化,使芯片转移至转移装置上,从而能够代替现有技术实现芯片转移的弱化结构,在转移过程中芯片不易位移,简单易取,且上述承载装置的制备工艺简单,可以采用成本低廉的材料制备而成,还能够重复使用。
搜索关键词: 承载 装置 具有 芯片 转移 系统
【主权项】:
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