[实用新型]一种电动高精度二维载物台有效
| 申请号： | 202022195202.X | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN213532483U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 徐爱文;张和君 | 申请（专利权）人： | 深圳市中图仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | B25H1/02 | 分类号： | B25H1/02;B25H1/14;G01B11/00 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种电动高精度二维载物台，包括载物台底层模块、载物台中层模块、载物台上层模块，载物台底层模块通过X轴交叉导轨与载物台中层模块连接，所述载物台中层模块通过Y轴交叉导轨与所述载物台上层模块连接，所述载物台底层模块通过X轴进给机构与所述载物台中层模块连接，所述X轴进给机构包括X轴驱动单元和X轴柔性丝杠机构，所述X轴驱动单元与所述X轴柔性丝杠机构连接，所述X轴柔性丝杠机构包括X向丝杠、X轴螺母块、X向推块、X球顶安装连接块、球推杆、球头柱塞。本实用新型的有益效果是：采用柔性连接结构，降低了装配要求，提高了装配效率，并且，提高了精度，在长期使用之后，还可以保持良好的精度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电动 高精度 二维 载物台 | ||
【主权项】：
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