[实用新型]半导体设备气柜泄漏检测装置有效
| 申请号： | 202022199111.3 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN212963883U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 杨保勋;江森林;彭国发 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体设备气柜泄漏检测装置，包括：固定部设置在半导体设备气柜排气管内侧壁旁侧，其用于固定承载部；承载部用于承载检测颗粒，其位于半导体设备气柜上方；多颗检测颗粒，其为酸性检测指示剂，其遇酸性变色。本实用新型酸性指示剂变色能被安全人员及时发现，可以弥补侦测器报警下限范围之外的检测空白区域，避免由于氯气微泄漏造成的环境危害和设备损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体设备 泄漏 检测 装置 | ||
【主权项】：
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