[实用新型]一种旋转靶材多段连接喷涂装置有效
申请号: | 202022210506.9 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213886751U | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 张向东;杨太礼;张文勇;王磊 | 申请(专利权)人: | 南阳利达光电有限公司 |
主分类号: | B05B13/02 | 分类号: | B05B13/02;B05B12/20 |
代理公司: | 北京隆达恒晟知识产权代理有限公司 11899 | 代理人: | 时移 |
地址: | 473000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种旋转靶材多段连接喷涂装置,包括衬管、单向法兰、双项法兰、固定芯轴、紧固螺母,所述衬管一端设有单向法兰,另一端设有双向法兰,所述单向法兰与双向法兰的中心位置均开设有通孔,所述通孔内套装有固定芯轴,所述固定芯轴的两端均旋装有紧固螺母。本实用新型结构简单紧凑、制造成本低,操作时方便快捷,在喷涂过程衬管的密封良好不漏水,跳动稳定,靶材两端保护距离稳定可控,多支喷涂涂层质量与单支喷涂涂层质量相同,有效的节省了大量安装、拆卸、开机准备工作,生产效率明显提高。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 靶材多段 连接 喷涂 装置 | ||
【主权项】:
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