[实用新型]一种背面感压绝压压力传感器有效
申请号: | 202022214591.6 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213148183U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 戴志华;蔡春梅;翁新全;许静玲;柯银鸿 | 申请(专利权)人: | 厦门乃尔电子有限公司 |
主分类号: | G01L9/06 | 分类号: | G01L9/06;G01L19/14;G01L19/00 |
代理公司: | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人: | 梁锦平 |
地址: | 361000 福建省厦*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种背面感压绝压压力传感器,其包括外壳体、压力敏感芯片以及连接线路,外壳体上设有安装部以及第一导压孔;压力敏感芯片的上部集成有电气元件以及感压膜片,压力敏感芯片的下部设有第二导压孔;连接线路伸入外壳体后连接至压力敏感芯片的上部;本实用新型通过在压力敏感芯片的下部设有第二导压孔,并将电气元件和感压膜片集成在压力敏感芯片的上部,第二导压孔的两端分别密封连接至感压膜片和第一导压孔,从而使得在进行压力检测时,介质只通过第一导压孔和第二导压孔接触到感压膜片,从而形成背面感压,无需考虑介质是否会对其他组成部件造成影响,使得压力传感器具有良好的介质兼容性。 | ||
搜索关键词: | 一种 背面 感压绝 压压 传感器 | ||
【主权项】:
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