[实用新型]一种晶圆电性测试墨点清除器有效
| 申请号： | 202022233189.2 | 申请日： | 2020-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN213529869U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 刘文锋 | 申请（专利权）人： | 深圳市海芯微迅半导体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526 | 代理人： | 李捷 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆电性测试墨点清除器，包含安装组件、限位筒及吸收组件，所述安装组件中固定安装有限位筒，所述安装组件的一侧固定安装有吸收组件，且吸收组件的输入端与限位筒筒壁穿插，所述安装组件中固定安装有具有离心同步喷液结构的清洗组件，本实用新型考虑到墨点圆形的实际造型，将墨点在限位筒中进行清除，在清洗组件中，利用离心力和转动结构实现了溶液喷射部位的开启与其自身的转动同步，这样就可以使得清洗溶液的喷射范围，以及喷射的均匀程度得到有效的控制，实现点对点式的准确清洗，避免了当前晶粒被破坏甚至波及周边晶粒的现象的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆电性 测试 墨点 清除 | ||
【主权项】：
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