[实用新型]硅片的自动传输装置

摘要

本实用新型公开一种硅片的自动传输装置，包括安装于机架上的底板、支座、传输电机和对称设置于支座两侧的传输皮带，所述支座安装于底板的上表面上，所述传输电机安装于支座上，所述支座两侧分别设置有一气缸，两个所述气缸相对设置，且每个气缸的活塞杆上连接有一沿运料方向设置的条形安装板，所述条形安装板的上方间隔安装有若干个可转动的导向轮，当气缸的活塞杆处于收缩状态时，所述导向轮的圆周端面远离传输皮带，当气缸的活塞杆处于伸长状态时，所述导向轮的圆周端面靠近传输皮带。本实用新型实现了对单片硅片的高效、逐片自动运送，同时提高了运送过程的稳定性和安全性，避免外力和人为的干预对硅片的损伤。