[实用新型]一种光刻机的送料装置有效
| 申请号： | 202022252099.8 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN213536531U | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 杨光宇 | 申请（专利权）人： | 锐捷芯盛（天津）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 周庆路 |
| 地址： | 300000 天津市滨海新区滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光刻机的送料装置，属于光刻机技术领域。包括支撑组件、运送组件和翻转组件，其中，支撑组件中的支撑架固定于支撑箱。运送组件中的第一驱动件固定于支撑架，安装块固定于第一驱动件，齿条固定于安装块，齿轮与齿条传动连接，第一转轴一端固定于齿轮，另一端与摇摆杆固定，第一转轴与支撑架转动连接。翻转组件中的安装架固定于摇摆杆的一端，电机固定于安装架的一侧，第二转轴的一端固定于电机，第二转轴的另一端与安装架转动连接，第二驱动件固定安装于第二转轴，吸盘固定安装于第二驱动件，吸盘与气泵连通，气泵固定安装于支撑箱的内部。整个装置结构简单，操作方便，制造成本低，实现光刻机的自动送料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 装置 | ||
【主权项】：
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