[实用新型]一种硅片平坦度测试设备机械手有效
| 申请号： | 202022275948.1 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN213706991U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 谢艳;杨春雪;袁祥龙;裴坤羽;武卫;刘建伟;由佰玲;刘园;孙晨光;王彦君;祝斌;刘姣龙;常雪岩;张宏杰;刘秒;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片平坦度测试设备机械手，包括机械手主体，用于伸入FOSB类片盒内取出和放回硅片；支撑装置，用于支撑硅片的所述支撑装置设置在所述机械手主体上；推出装置，推出所述硅片的所述推出装置设置在所述机械手主体上；固定装置，固定整个机械手在平坦度测试设备上的所述固定装置设置在所述机械手主体上。本实用新型的有益效果是有效的解决装在FOSB类片盒内的硅片无法直接在平坦度测试设备上上载测试，必须通过转换器将硅片导入FOUP类片盒内再测试，浪费时间降低测试产能的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 平坦 测试 设备 机械手 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司，未经天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022275948.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种方便清理的大串串机
- 下一篇：一种应用于治疗弱视近视的光发射模块
