[实用新型]晶圆表面宏观检测装置有效
| 申请号： | 202022278851.6 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN213932603U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 夏儒斐 | 申请（专利权）人： | 东舟技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00 |
| 代理公司： | 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 | 代理人： | 张凡 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆表面宏观检测装置，晶圆吸盘，开设有气道；自转机构，与晶圆吸盘连接，用于带动晶圆吸盘作自转运动；X轴旋转机构，与自转机构连接，用于带动自转机构作X轴旋转运动；移动机构，包括直线模组，以及与直线模组连接的支撑杆，所述直线模组用于带动支撑杆作往复运动，支撑杆与X轴旋转机构铰接连接；Y轴旋转机构，包括升降组件，以及与升降组件连接的第一铰接件，第一铰接件与X轴旋转机构铰接连接，升降组件设于支撑杆上，升降组件用于带动第一铰接件作往复运动，使得X轴旋转机构绕支撑杆作Y轴旋转运动。本实用新型提供的晶圆表面宏观检测装置，可实现晶圆多个方向的旋转，方便对晶圆进行宏观检测，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 宏观 检测 装置 | ||
【主权项】：
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