[实用新型]刻蚀治具、辅助上料盘及刻蚀治具组件有效
| 申请号： | 202022293468.8 | 申请日： | 2020-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN213304064U | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 陈先明;吴耀科;彭建;李敏雄;黄本霞;王闻师 | 申请（专利权）人： | 珠海越亚半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/20 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 俞梁清 |
| 地址： | 519175 广东省珠海*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种刻蚀治具、辅助上料盘及刻蚀治具组件，刻蚀治具组件包括刻蚀治具和辅助上料盘，其中刻蚀治具包括结构相同的第一夹板和第二夹板，所述第一夹板和所述第二夹板的上表面和下表面均涂覆有金属涂层，所述第一夹板和所述第二夹板上均设置有开窗；多个夹具，安装在所述第一夹板和所述第二夹板的边缘，用于所述第一夹板和所述第二夹板的固定，本申请可以防止基板边缘区域芯片氧化，提升基板或产品的良率和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 辅助 上料盘 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于珠海越亚半导体股份有限公司，未经珠海越亚半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022293468.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
