[实用新型]硅棒研磨机有效

专利信息
申请号: 202022310954.6 申请日: 2020-10-16
公开(公告)号: CN213970498U 公开(公告)日: 2021-08-17
发明(设计)人: 苏静洪;卢建伟;李鑫;钱春军;曹奇峰 申请(专利权)人: 天通日进精密技术有限公司
主分类号: B24B27/00 分类号: B24B27/00;B24B37/02;B24B37/27;B24B37/34
代理公司: 上海巅石知识产权代理事务所(普通合伙) 31309 代理人: 张明;王再朝
地址: 314400 浙江省嘉兴*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 本申请公开一种硅棒研磨机,包括机座、硅棒装载装置、第一转移装置、第二转移装置、粗磨装置、以及精磨装置,其是将粗磨装置与精磨装置分别设置在硅棒加工平台的第一加工区位与第二加工区位,设置有同时贯穿第一加工区位与第二加工区位的第一转移装置与第二转移装置,并为第一转移装置和第二转移装置均配置硅棒夹具与驱动机构,通过协调控制第一转移装置、第二转移装置与粗磨装置、精磨装置,使得在同一时刻所述硅棒研磨机粗磨装置与精磨装置均处于工作状态,在保持硅棒研磨机的尺寸规格与成本的基础上大幅提升研磨作业效率,缩减了研磨作业耗时,提升了经济效益。
搜索关键词: 研磨机
【主权项】:
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