[实用新型]MEMS开关、电子装置以及电子香烟有效
| 申请号： | 202022327175.7 | 申请日： | 2020-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN214431791U | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | E·杜奇;F·塞利尼;L·巴尔多 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | A24F40/40 | 分类号： | A24F40/40;A24F40/51;A24F40/50;A24F40/46 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的实施例涉及MEMS开关、电子装置以及电子香烟。一种MEMS开关，可由流体致动，包括：压电压力传感器；板，具有面和贯通孔，其中，压电压力传感器被固定到板的面，并且压电压力传感器包括：半导体材料的芯片，芯片具有覆盖贯通孔的贯通腔，并且贯通腔与贯通孔流体连接，以及敏感膜，在贯通腔之上延伸，并且敏感膜具有第一表面和第二表面；以及支撑壁，被配置为将板固定在分隔壁的开口中，分隔壁使第一空间和第二空间彼此相互分开，其中，敏感膜的第一表面面向第一空间，并且敏感膜的第二表面面向第二空间。根据本公开，提供了一种可由流体致动的MEMS开关。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关 电子 装置 以及 香烟 | ||
【主权项】：
暂无信息
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