[实用新型]一种电子级三氟化氮成品分析管路系统

摘要

本实用新型公开了一种电子级三氟化氮成品分析管路系统，包括气体抽空系统、水分分析系统、红外光谱分析系统、气相色谱分析系统、氮气吹扫系统、尾气回收系统六部分；NF3钢瓶依次连接减压阀、压力表、控制阀，控制阀出口管线并联四路管线，第一路管线连接第一三通气动阀、NF3尾气回收口，第一三通气动阀同时连接真空泵和NF3抽空口；第二路管线连接第二三通气动阀、水分仪、分析尾气回收口，第二三通气动阀同时连接N2吹扫口；第三路管线连接第三三通气动阀、红外光谱仪、分析尾气回收口，第三三通气动阀同时连接N2吹扫口；第四路管线连接第四三通气动阀、气相色谱仪、分析尾气回收口。该管路系统能够实现一套设备一次进样，快速分析。