[实用新型]一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置有效
申请号: | 202022350269.6 | 申请日: | 2020-10-21 |
公开(公告)号: | CN213468896U | 公开(公告)日: | 2021-06-18 |
发明(设计)人: | 刘磊;王小波;郑强 | 申请(专利权)人: | 无锡矽晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B3/14;B08B13/00;B32B9/00;B32B9/04;B32B27/02;B32B27/36;B32B27/12;B32B15/20;B32B15/14;B32B33/00 |
代理公司: | 无锡派尔特知识产权代理事务所(普通合伙) 32340 | 代理人: | 杨立秋 |
地址: | 214000 江苏省无锡市惠*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅麦基板加工技术领域,具体涉及一种用于硅麦基板加工的表面清洗装置,包括清洗箱,清洗箱的底部设有减震板,清洗箱的顶部铰接有盖板,清洗箱的内腔底部线性设有若干超声波震板,清洗箱的前后内侧壁对称线性设有若干卡槽,卡槽内卡接有卡条,卡条设置于矩形网框的前后侧壁,矩形网框的内腔内由左至右依次设有若干分割网板,通过分割网板将矩形网框分割成若干矩形放置腔;解决了大多通常的做法是将硅麦基板直接堆叠放置到清洗池中进行浸润去除污染物,由于清洗池内的清洗去污溶液为静止状态,对硅麦基板的表面污染物的去污能力较慢,导致清洗效率低下,同时功能单一的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 硅麦基板 加工 表面 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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