[实用新型]一种防变形靶材有效
| 申请号： | 202022374932.6 | 申请日： | 2020-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN213652625U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种防变形靶材，所述防变形靶材的非溅射面上设置有水冷却槽；所述水冷却槽的底面平面度≤0.05mm；所述水冷却槽的底面粗糙度≤0.8μm；所述水冷却槽的中央设置有凸起；所述凸起的中央设置有螺纹凹槽。本实用新型提供的防变形靶材在传统靶材的基础上改进了水冷却槽的尺寸设计，提升了水冷却槽的冷却效果，防止了靶材在使用过程中变形和漏水现象的发生，延长了靶材的使用寿命，减少了更换频率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 变形 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022374932.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种隔热式口袋膜
- 下一篇：低氮多回流燃气燃烧器
- 同类专利
- 专利分类
