[实用新型]一种可调的化学气相沉淀装置

摘要

本实用新型公开了一种可调的化学气相沉淀装置，包括沉淀筒、气体均布件、晶圆布置件；晶圆布置件的侧壁上均匀设置有若干用来安装晶圆的夹筒；夹筒包括上下对称设置上夹持臂和下夹持臂；上夹持臂固定设置在晶圆布置件的外侧壁上；下夹持臂与晶圆布置件进行上下方向的滑动连接；下夹持臂的下壁面上连接有调节丝杆；下夹持臂下方的晶圆布置件上设置有控制座，控制座内转动连接有调节螺母；调节丝杆与调节螺母进行螺纹连接。本实用新型中夹筒的结构设置，当转动调节螺母时，调节丝杆会实现上下运动，从而带动下夹持臂靠近上夹持臂或远离上夹持臂，从而使上夹持臂与下夹持臂之间能够夹持不同粗细大小的晶圆，增大了适用性。