[实用新型]一种玻璃镀膜用钛管靶材有效
申请号: | 202022396633.2 | 申请日: | 2020-10-26 |
公开(公告)号: | CN213327813U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 刘军社 | 申请(专利权)人: | 宝鸡市佳军金属材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/32 |
代理公司: | 西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61237 | 代理人: | 麦春明 |
地址: | 721013 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种玻璃镀膜用钛管靶材,本实用新型公开了一种玻璃镀膜用钛管靶材,包括靶材本体,所述靶材本体包括用于镀膜的管体,所述管体一端连接有便于调节的连接机构,所述连接机构内部设有多个便于固定连接位置的锁紧机构,本实用新型通过设置在管体一端的连接机构和锁紧机构之间的相互配合,连接机构调节靶材与设备连接的位置高度,锁紧机构对不同连接位置进行锁紧,这种连接方式相对于现有的粘合方式,解决了在玻璃镀膜时靶材脱落、镀膜失败和工作效率低的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 玻璃 镀膜 用钛管靶材 | ||
【主权项】:
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