[实用新型]一种硅片取放装置有效
| 申请号： | 202022423839.X | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN214086610U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;刘三利 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 刘相宇 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片取放装置，包括固定座和动力源，固定座上可移动地连接有驱动板，驱动板上连接有移动板，移动板上连接有用于吸附硅片的吸附装置，驱动板上连接有齿条，动力源包括伺服电机，伺服电机和减速机相连接，减速机的输出轴上连接有齿轮，齿轮和齿条相啮合。本实用新型能够方便快捷地实现硅片取放，节约了大量人力，提高了硅片取放效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 装置 | ||
【主权项】：
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