[实用新型]具有吹扫气流通道的气体喷射器有效
| 申请号： | 202022423919.5 | 申请日： | 2020-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN214106268U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 吴铭钦;刘峰 | 申请（专利权）人： | 苏州雨竹机电有限公司 |
| 主分类号： | B01D47/06 | 分类号： | B01D47/06;B08B5/02 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种具有吹扫气流通道的气体喷射器，包括一机台及一气体喷射头，机台上设有气流凹槽，其周围环设有复数晶圆承载凹槽。气体喷射头则位于气流凹槽上，气体喷射头中央设置有吹扫气流通道，且吹扫气流通道突出于气体喷射头底部，以喷出垂直气流至气流凹槽，令垂直气流撞击气流凹槽后转换为水平气流，使水平气流能喷射至周围晶圆承载凹槽内的晶圆的边角。本实用新型的吹扫气流通道具吹扫或清洁蚀刻的功能，且吹扫气流通道突出于气体喷射头底部，搭配机台的气流凹槽的内凹结构，能有效扫除晶圆边缘的粉尘及沉积物，提升产品制造合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 气流 通道 气体 喷射器 | ||
【主权项】：
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