[实用新型]一种单晶炉副室自动清洗装置有效
申请号: | 202022434335.8 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN214052961U | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 周鼎军;左立超;朱玮 | 申请(专利权)人: | 天津康帝德科技有限公司 |
主分类号: | B08B9/087 | 分类号: | B08B9/087;B08B13/00 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 何静 |
地址: | 300403 天津市滨海新区睦*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉副室自动清洗装置,包括移动机构,升降机构,清洗机构以及控制系统,升降机构垂直固接于移动机构内,其顶部连接有清洗机构,清洗机构包括旋转张紧机构和擦拭机构,旋转张紧机构包括摆动气缸,摆动气缸与升降机构的顶部垂直固接,其伸缩杆顶端水平连接有方形固定台,方形固定台的各边中心处分别水平连接有气缸,擦拭机构由四个弧形边朝外水平设置的D型无尘布安装架构成,每个D型无尘布安装架分别与对应的气缸伸缩杆端部固接,D型无尘布安装架上缠绕有无尘布,本实用新型改变了传统人工清洗的方法,通过逐级伸缩,解决了空间和高度的难题,体积较小,操控灵活,安全可靠,工作效率高,清洗效果好。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉副室 自动 清洗 装置 | ||
【主权项】:
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