[实用新型]一种光刻机用陶瓷吸盘有效
| 申请号： | 202022435130.1 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN213715699U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 高岩;张德胜 | 申请（专利权）人： | 大连榕树光学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 赵芳蕾 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种光刻机用陶瓷吸盘，包括吸盘主体，所述吸盘主体前侧设置有应力消除机构；所述应力消除机构包括第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽；所述吸盘主体内部中间等距环绕开设有多个第一凹槽，且多个第一凹槽外侧均对应开设有第二凹槽，所述第二凹槽外侧对应设置有第三凹槽。本实用新型通过吸盘主体上的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽和第四凹槽，在吸盘主体上内壁的多个位置，先设置大的第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽，消除一部分应力，然后再在第一凹槽、第二凹槽和第三凹槽内壁上设置多个小型的第四凹槽，不仅可以提升消除应力的效果，还能够避免多个小型凹槽在吸盘表面，容易损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 陶瓷 吸盘 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于大连榕树光学有限公司，未经大连榕树光学有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022435130.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于安装的建筑钢结构
- 下一篇：一种光刻机用晶圆片匀胶装置
