[实用新型]一种光刻机用晶圆片匀胶装置有效
| 申请号： | 202022435138.8 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN213715698U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 卫广连;叶东国;付志江 | 申请（专利权）人： | 大连榕树光学有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 赵芳蕾 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连市大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及晶圆片光刻技术领域，公开了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台，所述工作台的左端固定安装有控制开关，所述控制开关的内部设置有PLC控制器，所述工作台的上端中部固定安装有收集罩，所述工作台的内腔上端中部固定安装有电机，所述电机的上端设置有传动杆，所述电机的电机轴输出端与传动杆传动连接，所述传动杆贯穿工作台和收集罩固定连接有真空吸盘，所述收集罩的内腔下端中部设置有密封圈。本实用新型通过设置的收集罩、橡胶条、电机、传动杆、真空吸盘、密封圈、直杆、液位传感器、排液管和喇叭，解决了光刻胶污染工作环境，增加二次清理麻烦的问题，较为实用，适合广泛推广与使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机用晶圆片匀胶 装置 | ||
【主权项】：
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