[实用新型]冷却板、冷却模块及工艺系统有效
| 申请号： | 202022437973.5 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN214244602U | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 黄一原;刘镒诚;卢木森 | 申请（专利权）人： | 凌嘉科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/50;C23C14/56;C23C14/34 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 唐芳芳 |
| 地址： | 中国台湾台中市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种工艺系统，配置来对工件进行工艺，包含工站，包括入口端及出口端，经配置以自该入口端接收所述工件，并由该出口端将所述工件移出该工站；回流设备，包括设置在该工站外的回流轨道，所述回流轨道经配置以使所述工件自所述出口端移动到所述入口端移动；及冷却模块，设于所述回流轨道且与外界环境流体连通。所述冷却模块包括：冷却板，具有经配置以接触所述工件的冷却面；及液态界面生成模块，设于所述冷却板，且经配置以在所述冷却面及所述工件之间生成液态界面。 | ||
| 搜索关键词： | 冷却 模块 工艺 系统 | ||
【主权项】：
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