[实用新型]一种抽插式平面靶轭铁结构有效

专利信息
申请号: 202022467936.9 申请日: 2020-10-30
公开(公告)号: CN213835521U 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 汪选林 申请(专利权)人: 深圳森丰真空镀膜有限公司
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 鲍敬
地址: 518000 广东省深圳市光明*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种抽插式平面靶轭铁结构,包括:靶材;靶体,靶体与靶材相连,靶体限定有容纳腔,靶体的顶端设有插入口,靶体的底端设有顶起孔,插入口和顶起孔分别与容纳腔连通,顶起孔处可拆卸安装有密封堵头,容纳腔的远离靶材的内壁上分别设有第一导块和第二导块,第一导块邻近顶起孔,第二导块邻近插入口;轭铁,轭铁的靠近靶材的表面上固定安装有磁铁,轭铁通过插入口插入到容纳腔中,轭铁的远离靶材的表面抵接在第一导块和第二导块上,且磁铁与容纳腔的靠近靶材的表面抵接。本装置中的磁铁与轭铁组装成一体,整体通过插入口插入到容纳腔中或者从容纳腔中取出,不再需要拆装靶体上的其它零部件,方便快捷。
搜索关键词: 一种 抽插式 平面 靶轭铁 结构
【主权项】:
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