[实用新型]一种检测装置和硅片分选设备有效
申请号: | 202022470035.5 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN213933636U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 李文;李泽通;周凡;李昶;徐飞;黄莉莉;薛冬冬 | 申请(专利权)人: | 无锡奥特维科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/892 | 分类号: | G01N21/892;B07C5/342 |
代理公司: | 无锡永乐唯勤专利代理事务所(普通合伙) 32369 | 代理人: | 孙际德;章陆一 |
地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种检测装置,包括输送机构和检测机构,检测机构用于检测待测物体的与输送机构的输送方向垂直的两条边缘的检测,检测机构包括检测相机、第一边缘照射光源、第二边缘照射光源和反射机构,其中:第一边缘照射光源用于照射待测物体的第一边缘;第二边缘照射光源用于照射待测物体的第二边缘;反射机构用于为对第一边缘照射光源发出的第一边缘照射光线进行反射使得第一边缘照射光线经第一边缘反射后被检测相机探测到;反射机构用于对第二边缘照射光源发出的第二边缘照射光线进行反射使得第二边缘照射光线经第二边缘反射后被检测相机探测到。本实用新型仅设置一套检测机构即实现了对待检测物体两条边缘的检测,降低了检测装置的成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 装置 硅片 分选 设备 | ||
【主权项】:
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