[实用新型]一种掩模架子有效
| 申请号： | 202022475747.6 | 申请日： | 2020-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN213276258U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 华卫群;尤春;刘维维;顾梦星;杨东海;张月圆;薛文卿 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471 | 代理人： | 吴忠义 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模架子，包括曝光台以及固定于所述曝光台上方的激光器组件，其特征在于：所述曝光台与所述激光器组件之间设有能调节且固定不同尺寸掩模的固定调节组件，通过摇动转柄，带动螺纹杆转动，精准控制同一活动槽内的第一滑块与第二滑块做相向运动，从而实现调节不同尺寸的掩模的固定作用，又通过第一滑块上的弹簧、挡块，避免螺纹调节过快，导致掩模损坏，而相对位置的第二滑块未设置弹簧、挡块，保证掩模该侧的位置精准，该侧不产生弹性误差，配合第一滑块上的弹簧、挡板的挤压固定作用，使掩模的调节定位更加精准，又通过滚轮，减少调节过程中，滑块与掩模底面的摩擦力，较少调节过程对掩模的磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 架子 | ||
【主权项】：
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