[实用新型]版图结构有效
| 申请号： | 202022479657.4 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN213278092U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡佩庭;王嘉鴻;林刚毅 | 申请（专利权）人： | 福建省晋华集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/02 | 分类号： | H01L27/02;H01L27/108;H01L21/8242 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 362200 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种版图结构及半导体器件。利用掩模图案对特征图案进行部分遮盖，以将特征图案中的有效规则图形界定出，并且掩模图案的至少第一边界是顺应规则图形的排布而对应延伸，提高了对有效规则图形的暴露度，并相应的保障对无效规则图形的遮盖程度。在将该版图结构应用于半导体器件的制备中时，则所形成的对应于有效规则图形的开孔的形貌也更加完整。 | ||
| 搜索关键词： | 版图 结构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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