[实用新型]基板承载装置有效
| 申请号： | 202022483986.6 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN213925001U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 尹植;朱成顺;方仁杰 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 朱颖;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板承载装置，应用于镀膜装置中，包括支撑柱、遮挡件、相连接的第一承载件和第二承载件，支撑柱设置在第一承载件上，支撑柱的端部用于与基板的板面抵接，第二承载件包括朝向支撑柱凸出的抵接部，抵接部用于与基板的侧端部抵接；第二承载件的部分结构与基板的侧端部之间具有间隙，以在第二承载件和基板之间形成供靶材原子进入基板背面的绕镀通道，遮挡件设置在第一承载件上，并用于遮挡绕镀通道的至少部分区域。本实用新型不会在基板承载装置内部产生异常沉积，基板承载装置使用寿命较长，且生产过程中不会产生异常放电，镀膜效率和品质较高。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 装置 | ||
【主权项】：
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