[实用新型]一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台有效
| 申请号： | 202022486460.3 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN213655473U | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 谢斌平;池彬;赵嘉峰 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F16C29/02 | 分类号： | F16C29/02;F16H25/24 |
| 代理公司： | 上海国瓴律师事务所 31363 | 代理人： | 傅耀 |
| 地址： | 210000 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种高控制精度和高重复定位精度多自由度平移台，包括第一平移台、第二平移台、平移驱动装置、光栅尺和光栅尺读取头，所述第一平移台和所述第二平移台滑动安装，所述平移驱动装置连接所述第一平移台和所述第二平移台，所述光栅尺位于所述第一平移台上，所述光栅尺读取头位于所述第二平移台上，所述光栅尺位于所述光栅尺读取头一侧。其中本实用新型的有益效果是：通过平移驱动装置结合光栅尺作为闭环反馈控制，实时反馈实际位置。实现高的控制精度和高的重复定位精度，可达到亚微米级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 精度 重复 定位 自由度 平移 | ||
【主权项】：
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