[实用新型]一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器

摘要

本实用新型提供一种高稳定性抗压的CMP设备用压力传感器，涉及压力传感器技术领域，包括底座和固定结构，所述底座的上表面固定连接有圆柱，所述圆柱的圆弧面滑动连接有圆盘，所述底座的上表面设有固定结构，所述底座的上表面借助固定结构固定连接有电阻应变片，所述固定结构包括框体，所述框体的表面和底座固定连接，所述框体的内部转动连接有螺杆，所述螺杆的表面螺纹连接有圆环，所述圆环的圆弧面固定连接有连接框，所述连接框的底端固定连接有滑块。本实用新型，解决了传统的电阻应变片是借助胶水粘在底座上，导致在电阻应变片受损需要更换的时候极为麻烦，容易撕的不全面，导致下一块电阻应变片难以粘上去的问题。