[实用新型]一种抛光载具及抛光机有效
| 申请号： | 202022497942.9 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN213673553U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 马金峰;唐林峰;刘兴达;周铁军 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张东梅 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种抛光载具及抛光机，抛光载具包括抛光盘和设置在抛光盘载物面的凸起；凸起的高度与待抛光晶片的厚度相同，且凸起的一侧能够与晶片解理面的边缘相贴合。在对晶片进行抛光时，将待抛光的晶片固定于抛光盘，并使晶片解理面的边缘与该凸起相贴合；因凸起的高度与晶片的厚度相同，故凸起的设置既不会影响晶片的抛光、又能够对晶片的边缘进行保护，进而避免对解理面造成磨损，防止塌边。因此，本实用新型提出的抛光载具，能够避免晶片的解理面边缘在抛光时出现塌边，解决了现阶段该领域的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 抛光机 | ||
【主权项】：
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