[实用新型]一种晶圆裸眼检视装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆裸眼检视装置，包括晶圆承载移动装置和支架，支架上端设置有滑轨；晶圆承载移动装置安装在滑轨上；晶圆承载移动装置下端安装有把手；晶圆承载移动装置外部设置有由前挡板，后挡板，侧挡板以及顶盖组成的观察箱；一侧侧挡板上开有观察窗；顶盖内侧安装有LED光源和多个防静电离子风扇。通过LED光源以及防静电离子风扇，营造一个单一光源的暗室和无微粒、无静电的环境；人员通过观察窗探入暗室内，对晶圆承载移动装置上的晶圆进行人工检视，在暗室环境下，单一的光源在晶圆表面产生漫反射，不会影响晶圆的检验，大大提高晶圆的检验质量和检验速度。