[实用新型]一种磷化铟多晶装料辅助工具有效
| 申请号： | 202022522440.7 | 申请日： | 2020-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN214193523U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李勇;曾志勇 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B11/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 404040 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶生长技术领域，公开了一种磷化铟多晶装料辅助工具，包括用于隔断石英安瓿瓶中红磷区与膜片区的挡块，挡块包括小径部和大径部，小径部的直径小于膜片区的最小尺寸，大径部的直径大于膜片区的最大尺寸，大径部固定连接有支撑杆,支撑杆的长度大于石英安瓿瓶的长度。本实用新型能够在进行装料过程中，膜片粘上红磷，膜片测压不准确，造成裂管或炸管的问题得到解决。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磷化 多晶 装料 辅助工具 | ||
【主权项】：
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