[实用新型]一种半导体检测用智能激光在线测量仪有效
| 申请号： | 202022532441.X | 申请日： | 2020-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN214585834U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 高宏玲;翟腾;艾文思;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 中国软件评测中心（工业和信息化部软件与集成电路促进中心） |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 广东灵顿知识产权代理事务所(普通合伙) 44558 | 代理人： | 陈丹萍 |
| 地址： | 100000 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体检测用智能激光在线测量仪，包括箱体和升降板，所述箱体右侧的上端固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端转动连接有转杆，所述转杆的顶部固定连接有密封盖板，所述箱体内腔的底部固定连接有滑杆，所述滑杆外表面的左右两侧均活动连接有活动块，所述活动块的顶部均活动连接有活动杆，且活动杆的交叉处活动连接，活动杆左右两侧的内侧均活动连接有电动伸缩杆，升降板下表面的左右两侧均开设有滑槽。本实用新型设置了电动伸缩杆、活动块、滑杆和活动杆，达到了防尘防护的目的，解决了现有的半导体检测用智能激光在线测量仪不具备防尘防护功能，导致其经常暴露在外而容易积尘和被碰撞损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 检测 智能 激光 在线 测量仪 | ||
【主权项】：
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