[实用新型]一种靶材平整度测试工装有效
| 申请号： | 202022542730.8 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN213455433U | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 何建进;陈江伟;何凌男 | 申请（专利权）人： | 苏州精美科光电材料有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/30 | 分类号： | G01B21/30 |
| 代理公司： | 苏州国卓知识产权代理有限公司 32331 | 代理人： | 黄少波 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材平整度测试工装，包括工作台，工作台上设置有固定机构和检测机构，固定机构包括第一驱动电机和第一移动装置，第一驱动电机一端通过联轴器连接有双向丝杆，双向丝杆两端均设置有固定板，工作台上设置有与固定板相对应的轨道；工作台上设置有支架，检测机构设置在支架上，检测机构包括第二驱动电机和第二移动装置，第二驱动电机通过联轴器连接有单向丝杆，第二移动装置设置在单向丝杆上并且可以沿着单向丝杆移动，第二移动装置底端设置有检测仪。本实用新型结构简单，可以通过移动第一移动装置与第二移动装置的配合实现靶材任意位置的平整度检测，无需人工目测即可实现测量，准确性高，方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平整 测试 工装 | ||
【主权项】：
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