[实用新型]扩散泵降温冷却装置有效

专利信息
申请号: 202022574411.5 申请日: 2020-11-10
公开(公告)号: CN213419524U 公开(公告)日: 2021-06-11
发明(设计)人: 张继辉;刘春雷;孙会民 申请(专利权)人: 沈阳蓝菱真空设备制造有限公司
主分类号: F04F9/00 分类号: F04F9/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 110033 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 实用新型提供一种扩散泵降温冷却装置,包括:泵体,其为凸腔结构,所述泵体为白钢材质,所述泵体包括带有中空的油腔,进气口和出气口的外罩,设置在油腔底部的加热装置及设置在加热装置上方泵芯,泵芯上端设有伞形喷嘴;进水管路,其固定设置在所述泵体上端;排水管路,其固定设置在所述泵体下端;冷却水管,其为矩形的白钢管,呈螺旋型缠绕在所述泵体的外壁上,所述冷却水管一端与所述进水管路连接,另一端与所述排水管路连接。本实用新型泵体为白钢材质,替代了碳钢泵壳,白钢的密度要优于Q235碳钢的密度,减小了泵壳的放气量,提高了真空抽速。
搜索关键词: 扩散 降温 冷却 装置
【主权项】:
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