[实用新型]基板冷热处理装置

摘要

本实用新型涉及基板处理技术领域，具体为一种基板冷热处理装置，包括支撑杆、下支撑板、上支撑板、框架、水箱、加热器以及空调，所述支撑杆位于下支撑板的下端，所述上支撑板位于下支撑板的上端，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，并且所述上支撑板与下支撑板之间设有连接杆，通过支撑杆支撑下支撑板，通过连接杆使上支撑板固定在下支撑板的上端，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，所述水箱位于框架的底端，所述加热器安装在水箱的上端，所述空调安装在加热器的上端，通过加热器使第二电热管进行加热，通过水箱使冷凝管具有冷却的效果，通过支撑部支撑基板，使基板固定。