[实用新型]一种离子注入机用检测装置有效
| 申请号： | 202022584863.1 | 申请日： | 2020-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN213635896U | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈维 | 申请（专利权）人： | 无锡凯世通科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 江苏弘扬知识产权代理有限公司 32495 | 代理人： | 刘锦霞 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新区硕放新3*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及检测装置领域，且公开了一种离子注入机用检测装置，包括检测装置本体，检测装置本体一侧的一端固定设有检测端，检测端外壁的一侧固定设有定位扣，定位扣一侧的两端均固定设有定位杆，两个定位杆外壁的一端均滑动设有定位环，本实用新型离子注入机用检测装置,通过检测端外壁固定设有定位扣，定位扣一侧的两端通过定位杆固定两个定位环，两个定位环卡合在检测口外壁的两端，两个定位环的两端通过第一螺丝和第一螺帽固定对应连接，使得检测口稳定在检测端的一侧，使得检测装置本体的检测更加稳定，便于随时观察和调整离子注入剂量，提高离子注入效率，使得离子注入机的注入更加精准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 检测 装置 | ||
【主权项】：
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