[实用新型]一种半导体真空设备用气密检测装置有效
| 申请号： | 202022595174.0 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN213274708U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 冯小龙 | 申请（专利权）人： | 苏州市鑫龙净化机械设备有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02;G01B5/02 |
| 代理公司： | 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 | 代理人： | 周升铭 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体真空设备用气密检测装置，包括外套件、密封圈、活动件、弹簧、封盖和螺丝，所述活动件一端为左杆，密封圈套设在左杆外圆面的杆槽内，所述活动件位于外套件的内部空间内，所述活动件另一端为右杆，所述弹簧套设在右杆外部，所述封盖套设在外套件的套件罐外，所述外套件一端为管状的套件横管另一端为罐状的套件罐，所述套件横管中部设有竖立的套件立管，所述活动件中部为圆形的中片，所述右杆背向中片的端面圆心开有端孔，所述封盖的轮廓呈圆形盖状，所述封盖的圆心部分开有开口，所述封盖焊接有盖夹。该半导体真空设备用气密检测装置，可检测半导体真空设备的气密性，适合普遍推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 真空 备用 气密 检测 装置 | ||
【主权项】：
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