[实用新型]一种用于晶圆光刻的盖盘有效
| 申请号： | 202022599911.4 | 申请日： | 2020-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN213987169U | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈春磊 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶圆光刻的盖盘，所述盖盘为凹型结构；所述凹型结构的底部设置有凹槽；所述凹槽中心处设置有通孔；所述凹型结构的中心线和所述凹槽的中心线相重合；所述凹型结构的侧面距离所述凹形结构的底面6‑7mm的位置设置有与底面相平行的长方形通孔。本实用新型提供的盖盘，通过对盖盘的结构进行重新设计，设置多层凹槽及在侧面的特定位置设置长方形通孔，使得在使用过程中装配牢固，避免了晶圆的晃动，使用寿命显著延长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 圆光 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022599911.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种多功能智能听诊器
- 下一篇：液压盘式制动器
