[实用新型]一种激光光路检偏装置及自动校正装置有效
| 申请号： | 202022613654.5 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213827594U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 黄汉杰;杨凌杰;付乐;杨伟林;张鑫;王灿 | 申请（专利权）人： | 友芯（厦门）半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/70 | 分类号： | B23K26/70;G01M11/02;G01B11/27 |
| 代理公司： | 厦门加减专利代理事务所(普通合伙) 35234 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 361101 福建省厦门市火炬高新区(*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及激光加工领域，特别涉及一种激光光路检偏装置及自动校正装置；其中，激光光路检偏装置包括激光器，光路调整构件，光束采样镜，检测光聚焦透镜，ccd模组，聚焦物镜，载物台；本设计通过对检测光路设置至少两个光束采样镜，并适配相应的ccd模组和光路调整构件来对光束的准直性进行检测与修正；本实用新型通过设置至少两个光束采样镜对核心光轴进行多点实时监测，通过ccd模组的反馈判断光束是否准直并驱动光路调整构件修正光束来确保至少两个观测点的光束偏移状况，保证光束准直性；通过设置至少两个ccd模组的像素差来实现至少两个光路调整构件的先后作动，保证了光路的准直性，提高了修正准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光路检偏 装置 自动 校正 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友芯（厦门）半导体设备有限公司，未经友芯（厦门）半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022613654.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
