[实用新型]吹气管、吹气式液位计和硅片清洗装置有效
| 申请号： | 202022619232.9 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213209192U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 官建宏;罗贤福 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/14 | 分类号： | G01F23/14;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 曹廷廷 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种吹气管、吹气式液位计和硅片清洗装置，吹气管包括管体，管体的一端设有进气口，管体的另一端设有出气口，出气口沿管体的径向向外突出设置。吹气式液位计包括上文的吹气管。硅片清洗装置包括用于清洗硅片的内槽、用于盛接由内槽中溢出的清洗液的外槽和用于测量外槽内的液位高度的第一吹气式液位计，第一吹气式液位计为上文的吹气式液位计，第一吹气式液位计的吹气管的出气口伸入至外槽的内部。本实用新型可以有效防止清洗液的结晶体堵住出气口，进而确保液位侦测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 气管 吹气 式液位计 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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