[实用新型]一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置有效

专利信息
申请号: 202022626941.X 申请日: 2020-11-13
公开(公告)号: CN213840486U 公开(公告)日: 2021-07-30
发明(设计)人: 唐蓉;吴汉涛;孙珏 申请(专利权)人: 无锡恒大电子科技有限公司
主分类号: F17C13/08 分类号: F17C13/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 214000 江苏省无锡市建*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,包括底板、侧架、连接杆、固定杆、限位组件、上限位转板、下限位转板、钢瓶、连接气管、顶管、支脚和斜坡台,上下两根固定杆两侧分别等距离设置有若干限位组件,并通过限位组件分别固接有上限位转板和下限位转板,所述底板的顶部设置有若干钢瓶,且钢瓶交错设置在相邻的限位组件之间;所述限位组件包括限位杆、活动槽、滑道、插杆、插板、插槽、插块、第一弹簧、第二弹簧和限位槽,该用于半导体生产的特气集装式钢瓶组装置,通过限位组件能够对钢瓶进行有效的限位,保证了钢瓶使用过程的稳定,且限位便捷,便于装卸,还能在有限空间内对其进行限位使用,便捷稳定。
搜索关键词: 一种 用于 半导体 生产 集装 钢瓶 组装
【主权项】:
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