[实用新型]载具识别装置以及载具有效
| 申请号： | 202022632384.2 | 申请日： | 2020-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN214004770U | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 李时俊;余仲;王志民;肖荣峰 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;H01L21/673;H01L31/18;G01V8/20 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林明校 |
| 地址： | 518118 广东省深圳市坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了载具识别装置以及载具，其中，载具识别装置设置到载具上，其中，所述载具包括板件，所述板件用于装载镀膜对象物，所述板件上设置有多个贯通所述板件的通孔部，所述通孔部当中的至少一个，被装在所述板件上的识别件堵住。本发明的载具识别装置，由于在载具的板件上设置有多个通孔部，能够根据不同的载具，堵住板件的不同的通孔部以作为不同的载具的标识信息，因此，能够不受载具上附着的靶材粒子的影响而容易地对载具进行识别。 | ||
| 搜索关键词： | 识别 装置 以及 | ||
【主权项】：
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